Hệ phún xạ

Thứ hai - 08/05/2017 21:46
HỆ PHÚN XẠ
 
TỔNG QUAN
Model

Oerlikon Leybold Univex 400

Hãng sản xuất Leybold
Năm sản xuất 2015
Hệ phún xạ - Oerlikon Leybold Univex 400
Ứng dụng chung:
• Màng mỏng: CdTe, CIGS, CZTS …
• Điện tử hữu cơ (PV, OLEDS)
• Lớp phủ quang học
• Vi điện tử
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
Kích thước buồng Rộng: 420 mm, Sâu: 480 mm, Cao: 550 mm
Bốc bay nhiệt Lên đến 8 loại vật liệu
Bốc hơi hữu cơ Lên đến 8 loại vật liệu
Bốc bay E-beam Riêng lẻ hoặc tổ hợp
Phún xạ Có 3 súng, trong đó 2 súng DC, 1 súng RF
Đồng lắng đọng Bốc bay hoặc phún xạ
Ion Assisted Deposition Tùy chọn
Tương thích Loadlock Tùy chọn
Làm mát buồng phún xạ Nước
Áp suất chân không Cỡ 10-7 Torr
QUI TRÌNH SỬ DỤNG
  1. Bật nguồn làm mát.
  2. Bật nguồn bơm sơ cấp.
  3. Bật nguồn phún xạ.
  4. Điều khiển các thông số theo yêu cầu sử dụng qua màn hình điều khiển.
  5. Sau khi phún xạ, vệ sinh buồng phún xạ, khu vực làm việc.
  6. Tắt nguồn khí, nguồn phún xạ, nguồn bơm, và nguồn làm mát.
     
 
 

Tổng số điểm của bài viết là: 0 trong 0 đánh giá

Click để đánh giá bài viết

  Ý kiến bạn đọc

Những tin mới hơn

Những tin cũ hơn

VĂN BẢN MỚI

Vien_04

Nội quy PTN của Viện

Lượt xem:180 | lượt tải:0

Vien_03

Quy trình liên hệ

Lượt xem:156 | lượt tải:0

Vien_02

Sơ đồ Viện

Lượt xem:225 | lượt tải:15

Vien_01

Mẫu đơn

Lượt xem:206 | lượt tải:11
Bạn đã không sử dụng Site, Bấm vào đây để duy trì trạng thái đăng nhập. Thời gian chờ: 60 giây