Hệ phún xạ

Thứ hai - 02/01/2017 22:44
Viện Nghiên cứu Khoa học và Ứng dụng đã tiếp nhận hệ phún xạ thuộc giai đoạn 2
 của Dự án tăng cường năng lực nghiên cứu cho phòng thí nghiệm Vật lý Chất rắn
Phún xạ là một kỹ thuật chế tạo màng mỏng quen thuộc trong nhiều phòng thí nghiệm trên thế giới và ở Việt Nam, trong cả nghiên cứu cơ bản và ứng dụng. Phún xạ là một kỹ thuật tiên tiến được nhiều phòng thí nghiệm sử dụng bởi nó không quá phức tạp để tạo ra những màng mỏng với chất lượng cao, từ quy mô nhỏ tới quy mô lớn.
Nằm trong mục tiêu phát triển theo định hướng nghiên cứu của Trường Đại học Sư phạm Hà Nội 2 (HPU2), Viện Nghiên cứu Khoa học và Ứng dụng (Institute of Scientific Research and Applications - ISA) vinh dự được tiếp nhận khai thác sử dụng hệ phún xạ UNIVEX 400 thuộc dự án tăng cường năng lực nghiên cứu cho phòng thí nghiệm Vật lý Chất rắn. Để phát huy tối đa hiệu quả khai thác hệ phún xạ UNIVEX 400, Viện Nghiên cứu Khoa học và Ứng dụng mong muốn được hợp tác nghiên cứu và ứng dụng khoa học với các nhà khoa học, các tổ chức nghiên cứu trong và ngoài trường. Dưới đây là một số thông tin khái quát về hệ phún xạ UNIVEX 400 để thuận tiện trong việc liên hệ khai thác và sử dụng thiết bị.
Các hệ thống thí nghiệm đa năng UNIVEX được phát triển bởi LEYBOLD ứng dụng trong nghiên cứu và phát triển, cũng như thiết lập các hệ thống sản xuất thử nghiệm. Trong 35 năm qua, các hệ UNIVEX chất lượng cao đã được LEYBOLD sản xuất và làm nên tên tuổi của hãng trên thị trường thế giới.
Đối với quá trình chế tạo màng mỏng đòi hỏi độ chân không cao, chân không tốt dẫn đến kết quả vượt trội. Hệ thống UNIVEX được thiết kế bởi các chuyên gia về chân không và trang bị thiết bị gốc của LEYBOLD (bao gồm máy bơm, máy đo, van), nhằm đáp ứng các ứng dụng của khách hàng.
Thiết kế an toàn và hoạt động của các hệ thống được kiểm tra cẩn thận, tỉ mỉ trước khi gửi đến khách hàng. Hệ thống điều khiển của UNIVEX được thiết kế thông minh giúp ngăn ngừa các yếu tố gây nguy hại cho người dùng cũng như hệ thống.

Hình 1: Tổng quan về sơ đồ mạch của buồng xử lý UNIVEX
UNIVEX được ứng dụng rộng rãi trong công nghiệp bán dẫn, vi điện tử, quang học, pin năng lượng mặt trời, y học, năng lượng,…
UNIVEX 400 là hệ máy phổ biến nhất của LEYBOLD cho nghiên cứu, phát triển và các ứng dụng lớp phủ quy mô thí điểm.
Description: Image result for Univex 400 leybold
Hình 2: Hệ máy UNIVEX 400
Cấu hình của buồng có thể tùy chỉnh cho các ứng dụng phổ biến:
  • Màng mỏng năng lượng mặt trời: CdTe, CIGS, CZTS phún xạ quá trình
  • Điện tử hữu cơ (PV, OLED)
  • Phủ quang học
  • Vi điện tử
Thông số kỹ thuật:
Buồng chân không
  • Vật liệu: bằng thép không gỉ có độ bóng cao.
  • Buồng chân không dạng lập phương có kích thước:
  • Chiều rộng: 420 mm (tương đương 16,53");
  • Chiều sâu: 420 mm (tương đương 16,53");
  • Chiều cao: 550 mm (tương đương 21,65").
  • Có cửa sổ quan sát kích thước 100 mm, chống được tia UV đảm bảo an toàn cho người sử dụng.
Bệ gá mẫu và gia nhiệt
  • Bệ gá mẫu có đường kính 8 inch (200 mm) cho phép giữ 1 mẫu có đường kính lên đến 8 inch (200 mm) hoặc 04 mẫu đường kính 2 inch.
  • Có tùy chọn (options) cho phép nâng cấp bộ gá để gá mẫu có đường kính lên đến 8 inch (200 mm).
  • Tốc độ quay: 0 - 20 rpm.
  • Có bộ gia nhiệt hồng ngoại hoặc không thể gia nhiệt lên đến 350 độ C
Súng phún xạ DC/RF: Kích thước 2 inch Phannar Magnetrons, đóng mở bằng động cơ.
Nguồn phún xạ RF: Nguồn phún xạ RF công suất tối đa lên đến 600W tại tần số 13,56 MHz với bộ hiển thị, cổng tương tác dạng Profibus.
Nguồn phún xạ DC: Công suất 1000W, điện áp ra 1000V, DC cho vật liệu phún xạ bằng kim loại.
Hệ máy UNIVEX 400 tại Viện Nghiên cứu Khoa học và Ứng dụng, HPU2 được trang bị 2 súng DC và 1 súng RF. Máy được cung cấp bởi công ty cổ phần vật tư và thiết bị khoa học kỹ thuật ACETECH, nhà phân phối chính hãng tại thị trường Việt Nam. Bên cạnh đó công ty ACETECH còn cung cấp các sản phẩm khác về chân không như bơm chân không, máy đo chân không, máy đo độ dò chân không, dầu chân không, khớp nối và các phụ kiện kèm theo rất thuận tiện cho việc bảo trì, sửa chữa và thay thế. Quá trình lắp đặt và vận hành đều được sự giám sát nghiêm ngặt của kỹ sư chuyên nghành đảm bảo máy vận hành một cách chính xác.
              

Hình 3: Quá trình tháo lắp bia
Hệ thống đã được lắp đặt và vận hành thành công, cho kết quả tốt. Hiện tại trường Đại học Sư phạm Hà Nội 2 đã tự chủ được việc vân hành và sử dụng hệ thống thiết bị nghiên cứu.
            
Hình 4: Môi trường plasma được tạo thành công trong buồng UNIVEX 400
Mọi thông tin về liên kết làm việc hoặc tham quan xin vui lòng liên hệ:
Mr. Phạm Văn Hào
Viện Nghiên cứu Khoa học và Ứng dụng, Trường Đại học Sư phạm Hà Nội 2.
Office: 6.14, Nhà học thí nghiệm, HPU2, 32 Nguyễn Văn Linh, Phúc Yên, Vĩnh Phúc.
Tel: +84(0) 2113512468, ext: 6010                Mobile: +84(0) 912 401 401
Email: haopv@hpu2.edu.vn                            Website: www.isa.hpu2.edu.vn
 
 

Tổng số điểm của bài viết là: 0 trong 0 đánh giá

Click để đánh giá bài viết

  Ý kiến bạn đọc

VĂN BẢN MỚI

Vien_04

Nội quy PTN của Viện

Lượt xem:210 | lượt tải:0

Vien_03

Quy trình liên hệ

Lượt xem:193 | lượt tải:0

Vien_02

Sơ đồ Viện

Lượt xem:260 | lượt tải:15

Vien_01

Mẫu đơn

Lượt xem:239 | lượt tải:11
Bạn đã không sử dụng Site, Bấm vào đây để duy trì trạng thái đăng nhập. Thời gian chờ: 60 giây